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双面研磨/抛光机
YJ-16B5L/PE
被加工件最大直径：φ380mm
机器重量：约4200kg
本机器适用于硅片、石英晶片、宝石片、光学水晶、光学玻璃、铌酸锂、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。 The machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.
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产品描述
参数
- 机器采用双电机驱动，游星轮在上下盘之间做行星运动，工件上下表面同时均匀研磨/ 抛光；
- 盘面操作高度控制在1050mm 以内，增加机器的稳定性，适合操作；
- 内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式；
- 上盘装置增加机械的安全装置，在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降，增加了安全性；
- 可实现游星轮的正、反转；通过游星轮正转和反转，实现盘面的修磨。
| 项目 | 规格 | 项目 | 规格 |
| YJ-16B5PE | YJ-16B5LE | ||
|
上下盘(mm) (内径x外径x厚度) |
φ1140xφ375x45 (柱销齿) |
上下盘(mm) (内径x外径x厚度) |
φ1140xφ375x45 (柱销齿) |
| φ1128xφ362x50 (渐开线齿) | φ1128xφ362x50 (渐开线齿) | ||
| 最小抛光厚度 (mm) | 0.4 | 最小抛光厚度 (mm) | 0.4 |
| 最大抛光厚度 (mm) | 35 | 最大抛光厚度 (mm) | 35 |
| 最大抛光直径(mm) | φ380 | 最大抛光直径(mm) | φ380 |
| 安装游星轮个数 | 5 | 安装游星轮个数 | 5 |
| 下盘转速 | 0-50RPM | 下盘转速 | 0-50RPM |
| 上盘提升气缸行程 | 450mm | 上盘提升气缸行程 | 450mm |
| 齿圈抬升行程 | 30mm | 齿圈抬升行程 | 30mm |
| 上盘电机 | 三相 7.5Kw 1450rpm | 上盘电机 | 三相 7.5Kw 1450rpm |
| 下盘电机 | 三相 7.5Kw 1450rpm | 下盘电机 | 三相 7.5Kw 1450rpm |
| 太阳轮电机 | 三相 1.5kw 1450rpm | 太阳轮电机 | 三相 1.5kw 1450rpm |
| 砂泵电机 | 250W | 砂泵电机 | 250W |
| 加压范围 | 0-500kg | 加压范围 | 0-500kg |
| 工作压力 | 0.5-0.6Mpa | 工作压力 | 0.5-0.6Mpa |
| 装机容量 | 约18KVA | 装机容量 | 约18KVA |
| 外形尺寸 | 1970x1765x2670 (mm) | 外形尺寸 | 1970x1765x2670 (mm) |
| 设备质量 | 约4200kg | 设备质量 | 约4200kg |
| 设备每平方米重量 | 约1550kg/㎡ | 设备每平方米重量 | 约1550kg/㎡ |
| 设备要求地面承重 | 约1710kg/㎡ | 设备要求地面承重 | 约1710kg/㎡ |
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